一、濺射靶材種類和性能豐富，金屬靶材未來(lái)可期
根據(jù)觀研報(bào)告網(wǎng)發(fā)布的《中國(guó)濺射靶材行業(yè)現(xiàn)狀深度分析與投資前景預(yù)測(cè)報(bào)告（2024-2031年）》顯示，濺射靶材是一種用于物理氣相沉積（PVD）濺射工藝的材料，用于制備薄膜。在PVD過(guò)程中，濺射靶材被加熱并被離子轟擊，從而產(chǎn)生蒸汽，這些蒸汽沉積在基底上形成薄膜。
濺射靶材的選擇取決于所需薄膜的化學(xué)和物理性質(zhì)，以及所使用的PVD工藝。常見(jiàn)的濺射靶材包括金屬、合金、氧化物、氮化物、碳化物等。隨著PVD技術(shù)的不斷發(fā)展，濺射靶材的種類和性能也在不斷更新和改進(jìn)。
靶材類型劃分
| 靶材類型 | 材料示例 | 應(yīng)用領(lǐng)域或特性 |
| 單質(zhì)金屬/非金屬靶材 | 銅靶、鋁靶、鉬靶、鈦靶、硅靶、石墨靶、硼靶 | 制備電極布線膜、阻擋膜、粘合膜、反射膜等 |
| 合金靶材 | 鈦鋁靶、鎳鉻靶、鉬靶 | 優(yōu)于單質(zhì)靶材的特異性質(zhì)，新型功能膜系設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā) |
| 陶瓷化合物靶材 | ITO靶、IZO靶、AZO靶 | 高強(qiáng)度、高熔點(diǎn)、化學(xué)穩(wěn)定性好、耐腐蝕，但易脆性破壞 |
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金屬靶材未來(lái)可期。金屬靶材以其出色的導(dǎo)電性、熱穩(wěn)定性、沉積速度快、濺射率低的特點(diǎn)，成為薄膜沉積的不二選擇。金屬薄膜可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、平面顯示器、太陽(yáng)能電池、信息存儲(chǔ)、工具改性等下游領(lǐng)域，其所用金屬類別以及性能要求各有千秋。
金屬濺射靶材的應(yīng)用領(lǐng)域以及性能要求
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 金屬材料 | 主要用途 | 性能要求 |
| 半導(dǎo)體芯片 | 超高純度鋁、鈦、銅、鉬等 | 制備集成電路 | 技術(shù)要求最高、超高純度金屬、高精度尺寸、高集成度 |
| 平面顯示器 | 高純度鋁、銅、鉬等，ITO | 高清晰電視、筆記本電腦等 | 技術(shù)要求高、高純度材料、材料面積大、均勻性程度高 |
| 太陽(yáng)能電池 | 高純度鋁、銅、鉬、鉻等，ITO | 薄膜太陽(yáng)能電池 | 技術(shù)要求高、應(yīng)用范圍大 |
| 信息存儲(chǔ) | 鉻基、鈷基合金等 | 光驅(qū)、光盤等 | 高儲(chǔ)存密度、高傳輸速度 |
| 工具改性 | 純金屬鉻、鉻鋁合金等 | 工具、模具等表面強(qiáng)化 | 性能要求較高、使用壽命延長(zhǎng) |
| 電子器件 | 鎳鉻合金、鉻硅合金等 | 薄膜電阻、薄膜電容等 | 電子器件尺寸小、穩(wěn)定性好、電阻溫度系數(shù)小 |
| 其他領(lǐng)域 | 純金屬鉻、鈦、鎳等 | 裝飾鍍膜、玻璃鍍膜等 | 技術(shù)要求一般，主要用于裝飾、節(jié)能等 |
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二、全球濺射靶材市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)穩(wěn)定增長(zhǎng)，中國(guó)行業(yè)地位不斷提高
作為各類薄膜工業(yè)化制備的關(guān)鍵材料，隨著半導(dǎo)體集成電路、平面顯示、太陽(yáng)能電池、信息存儲(chǔ)、低輻射玻璃等領(lǐng)域發(fā)展，全球?yàn)R射靶材市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)穩(wěn)定增長(zhǎng)。根據(jù)數(shù)據(jù)，2016-2023年全球?yàn)R射靶材市場(chǎng)規(guī)模由113億美元增長(zhǎng)至258億美元，年復(fù)合增長(zhǎng)率為12.52%。
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中國(guó)因本土化生產(chǎn)和應(yīng)用的增加，在全球?yàn)R射靶材行業(yè)中的地位越來(lái)越重要。數(shù)據(jù)顯示，2018-2023年我國(guó)濺射靶材市場(chǎng)規(guī)模由243億元增長(zhǎng)至431億元，年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)12.91%。
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三、美日企業(yè)占據(jù)全球?yàn)R射靶材主要市場(chǎng)，中國(guó)企業(yè)“乘風(fēng)而起”
美國(guó)和日本企業(yè)憑借專利先發(fā)優(yōu)勢(shì)占據(jù)了約80%的全球?yàn)R射靶材市場(chǎng)份額，其中日本日礦金屬、美國(guó)霍尼韋爾、日本東曹、美國(guó)普萊克斯分別占比30%、20%、20%、10%。
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隨著國(guó)內(nèi)顯示和半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，下游產(chǎn)業(yè)逐步向國(guó)內(nèi)轉(zhuǎn)移，帶動(dòng)了國(guó)內(nèi)濺射靶材行業(yè)的快速發(fā)展，我國(guó)濺射靶材產(chǎn)業(yè)逐漸從單一的規(guī)模增長(zhǎng)轉(zhuǎn)變?yōu)檫M(jìn)口替代的結(jié)構(gòu)化增長(zhǎng)，以江豐電子、阿石創(chuàng)、有研新材、隆華科技、歐萊新材等為代表的一批具有較強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的本土靶材企業(yè)成功進(jìn)入了國(guó)內(nèi)外知名平臺(tái)顯示、半導(dǎo)體集成電路等下游企業(yè)的供應(yīng)鏈環(huán)節(jié)，對(duì)境外廠商在國(guó)內(nèi)的市場(chǎng)份額形成了進(jìn)口替代，并實(shí)現(xiàn)了部分出口，保障了國(guó)內(nèi)重點(diǎn)行業(yè)上游關(guān)鍵原材料的自主可控及供應(yīng)安全。
我國(guó)濺射靶材行業(yè)代表企業(yè)基本情況
| 企業(yè)名稱 | 簡(jiǎn)介 | 營(yíng)收情況 |
| 江豐電子 | 江豐電子成立于2005年，注冊(cè)地位于浙江省寧波市，2017年在深圳證券交易所上市。江豐電子主要從事超高純金屬濺射靶材以及半導(dǎo)體精密零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。產(chǎn)品主要應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路芯片、平板顯示器、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。 | 江豐電子2023年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入26.02億元，同比增長(zhǎng)11.89%；實(shí)現(xiàn)歸屬于母公司股東的凈利潤(rùn)2.55億元，同比下降3.35%。其中，超高純靶材業(yè)務(wù)板塊營(yíng)業(yè)收入為16.73億元，同比增長(zhǎng)3.79%。 |
| 阿石創(chuàng) | 阿石創(chuàng)成立于2002年,注冊(cè)地位于福建省福州市,2017年在深圳證券交易所上市。阿石創(chuàng)主要從事各種PVD鍍膜材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主要產(chǎn)品包括濺射靶材和蒸鍍材料。產(chǎn)品主要應(yīng)用于平板顯示、光學(xué)光通訊、節(jié)能玻璃等領(lǐng)域。 | 阿石創(chuàng)2023年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入9.58億元，實(shí)現(xiàn)歸屬于母公司股東的凈利潤(rùn)1227萬(wàn)元，其中，濺射靶材業(yè)務(wù)板塊營(yíng)業(yè)收入為5.21億元。 |
| 隆華科技 | 隆華科技成立于1995年，注冊(cè)地位于河南省洛陽(yáng)市，2011年在深圳證券交易所上市。隆華科技的業(yè)務(wù)類型包括電子新材料、高分子復(fù)合材料和節(jié)能環(huán)保業(yè)務(wù)，產(chǎn)品主要應(yīng)用于磁懸浮列車、航天、石油、化工、工業(yè)水處理、市政水處理、城市礦山資源處置、污水處理、礦物浮選等領(lǐng)域。 | 隆華科技2023年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入24.67億元，實(shí)現(xiàn)歸屬于母公司股東的凈利潤(rùn)1.27億元，其中，電子新材料業(yè)務(wù)板塊營(yíng)業(yè)收入為4.73億元。 |
| 有研新材 | 有研新材成立于1999年，是由北京有色金屬研究總院獨(dú)家發(fā)起，以募集方式設(shè)立的股份有限公司，于1999年3月成立并在上海證券交易所掛牌上市。有研新材主要從事稀土材料、微光電子用薄膜材料、生物醫(yī)用材料、稀有金屬及貴金屬、紅外光學(xué)及光電材料等新材料的研發(fā)與生產(chǎn)，是我國(guó)有色金屬新材料行業(yè)的骨干企業(yè)。 | 有研新材2023年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入108.22億元，實(shí)現(xiàn)歸屬于母公司股東的凈利潤(rùn)2.26億元。 |
| 歐萊新材 | 歐萊新材成立于2010年，注冊(cè)地位于廣東省韶關(guān)市，2024年在上海證券交易所科創(chuàng)板上市。歐萊新材主營(yíng)業(yè)務(wù)為高性能濺射靶材的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主要產(chǎn)品包括多種尺寸和各類形態(tài)的銅靶、鋁靶、鉬及鉬合金靶和ITO靶等，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體顯示、觸控屏、建筑玻璃、裝飾鍍膜、集成電路封裝、新能源電池和太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域，是各類薄膜工業(yè)化制備的關(guān)鍵材料。 | 歐萊新材2023年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入4.76億元，實(shí)現(xiàn)歸屬于母公司股東的凈利潤(rùn)0.49億元。 |
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現(xiàn)階段，國(guó)務(wù)院、國(guó)家發(fā)改委、工信部等政府部門通過(guò)各類文件多層次、多角度、多領(lǐng)域?qū)Ω咝阅転R射靶材行業(yè)予以全產(chǎn)業(yè)鏈、全方位的指導(dǎo)，為行業(yè)內(nèi)企業(yè)的經(jīng)營(yíng)發(fā)展提供了有力的支持和良好的環(huán)境。我國(guó)濺射靶材企業(yè)“乘風(fēng)而起”，市場(chǎng)份額有望不斷提升。
我國(guó)濺射靶材行業(yè)相關(guān)政策
| 時(shí)間 | 政策 | 發(fā)布單位 | 相關(guān)內(nèi)容 |
| 2023年 | 《電子信息制造業(yè)2023-2024年穩(wěn)增長(zhǎng)行動(dòng)方案》 | 工信部、財(cái)政部 | 面向數(shù)字經(jīng)濟(jì)等發(fā)展需求，優(yōu)化集成電路、新型顯示等產(chǎn)業(yè)布局并提升高端供給水平，增強(qiáng)材料、設(shè)備及零配件等配套能力 |
| 2023年 | 《制造業(yè)可靠性提升實(shí)施意見(jiàn)》 | 工信部、教育部、科技部、市場(chǎng)監(jiān)管總局 | 在基礎(chǔ)產(chǎn)品可靠性“筑基”工程中提高高頻高速印刷電路板及基材、新型顯示專用材料、新型顯示電子功能材料、先進(jìn)陶瓷基板材料、芯片先進(jìn)封裝材料等電子材料性能 |
| 2022年 | 《原材料工業(yè)“三品”實(shí)施方案》 | 工業(yè)和信息化部辦公廳、國(guó)資委辦公廳、市場(chǎng)監(jiān)管總局辦公廳、知識(shí)產(chǎn)權(quán)局辦公室 | 支持鼓勵(lì)光刻膠、光電顯示材料、工業(yè)氣體、靶材等關(guān)鍵基礎(chǔ)材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，加強(qiáng)前沿新材料的質(zhì)量性能研發(fā)，完善新材料生產(chǎn)應(yīng)用平臺(tái)，優(yōu)化上下游合作機(jī)制 |
| 2021年 | 《“十四五”原材料工業(yè)發(fā)展規(guī)劃》 | 工信部、科技部、自然資源部 | 提出推動(dòng)超高純金屬及靶材制備等新技術(shù)研發(fā)；突破關(guān)鍵材料中提出圍繞集成電路、信息通信和能源產(chǎn)業(yè)等重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域，攻克包括靶材在內(nèi)的一批關(guān)鍵材料 |
| 2021年 | 《中華人民共和國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展第十四個(gè)五年規(guī)劃和2035年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要》 | 全國(guó)人民代表大會(huì) | 聚焦新一代信息技術(shù)、生物技術(shù)、新能源、新材料、高端裝備、新能源汽車、綠色環(huán)保以及航空航天、海洋裝備等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，加快關(guān)鍵核心技術(shù)創(chuàng)新應(yīng)用，增強(qiáng)要素發(fā)展保障能力，培育壯大產(chǎn)業(yè)發(fā)展新動(dòng)能 |
| 2020年 | 《關(guān)于擴(kuò)大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)投資培育壯大新增長(zhǎng)點(diǎn)增長(zhǎng)的指導(dǎo)意見(jiàn)》 | 國(guó)家發(fā)改委、科技部、工信部、財(cái)政部 | 加快新材料產(chǎn)業(yè)強(qiáng)弱項(xiàng)，實(shí)現(xiàn)光刻膠、高純靶材等關(guān)鍵材料領(lǐng)域的突破 |
| 2017年 | 《新材料關(guān)鍵技術(shù)產(chǎn)業(yè)化實(shí)施方案》 | 國(guó)家發(fā)改委 | 明確大尺寸高純鉬靶材材料技術(shù)指標(biāo)：鉬靶材純度≥99.99%，板狀靶材長(zhǎng)度≥2000mm，管狀靶材外徑≥150mm，長(zhǎng)度>1500mm |
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